功能：去除单/多晶硅片表面附着的硅粉、金属粉末、有机物、悬浮液和漂洗介质等

每批次可处理硅片400片(即100片花篮4个)

产线兼容156×156mm型号单/多晶太阳能电池硅片（硅片厚度140~220um）切削/脱胶后的清洗、漂洗及烘干工艺

设备自动上/下料，中间清洗、漂洗移载全过程由两组机械手负责；热风通道内花篮在各工艺位置间的相对位移由马达同步输送负责；空花篮经空篮回收输送线从设备末端传送至设备前端，由移载机从分选仪抓取送到回收输送线上。